发明名称
摘要
申请公布号 JP2008521221(A) 申请公布日期 2008.06.19
申请号 JP20070541574 申请日期 2005.11.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;H01J37/305 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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