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Eine Mikrospiegelanordnung (4) mit wenigstens zwei Mikrospiegeln (2), die jeweils über wenigstens eine Torsionsfeder (6) an einem Substratwafer (8) aufgehängt sind. Die Drehachsen der Mikrospiegel (2) sind im Wesentlichen senkrecht zueinander angeordnet, um einen optischen Strahl (22) in zwei im Wesentlichen senkrecht zueinander stehende Richtungen ablenken zu können. Die Mikrospiegel (2) und die Torsionsfedern (6) sind aus dem Substratwafer (8) herausstrukturiert und liegen im Wesentlichen in einer Ebene.
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