HERSTELLUNGSVERFAHREN VON AUSGERICHTETEN STRUKTUREN AUF BEIDEN SEITEN EINER DÜNNSCHICHT,申请号DE2003620677-传众专利搜索

发明名称	HERSTELLUNGSVERFAHREN VON AUSGERICHTETEN STRUKTUREN AUF BEIDEN SEITEN EINER DÜNNSCHICHT
摘要
申请公布号	DE60320677(D1)	申请公布日期	2008.06.12
申请号	DE2003620677	申请日期	2003.12.16
申请人	COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE	发明人	VINET, MAUD;DELEONIBUS, SIMON;PREVITALI, BERNARD;FANGET, GILLES
分类号	H01L23/544;H01L21/20;H01L21/336;H01L29/786	主分类号	H01L23/544
代理机构		代理人
主权项
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