SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING UPPER AND LOWER CHAMBER,申请号KR20060117720-传众专利搜索

首页产品黄页商标征信

会员服务注册登录

法人/股东/高管

发明名称	SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING UPPER AND LOWER CHAMBER
摘要
申请公布号	KR100837627(B1)	申请公布日期	2008.06.12
申请号	KR20060117720	申请日期	2006.11.27
申请人		发明人
分类号	H01L21/02;H01L21/027	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利

Flüssigkristalltafel mit ultraviolette Strahlung reduzierenden Mitteln, Herstellungsverfahren dafür und ein diese nutzendes Projektionsanzeigegerät

Verfahren und Vorrichtung zur Verbesserung von Auflösung und Kontrast durch eine überabgetastete Beleuchtung mit Intensitätssteuerung in einem zwei-dimensionalen mikro- adressierbaren Drucker

Kontaktbildsensor, Verfahren zur dessen Herstellung und Informationsverarbeitungsgerät

Verfahren zur Nachrichtenwegidentifizierung und Nachrichtenverarbeitungsgerät

Bremssteuereinrichtung in einem Blockierschutz-Bremssystem

Verwendung von 2-(N-(2-Aminoethyl)amino)-essigsäure-derivaten zur Behandlung von Erkrankungen, die durch die nichtenzymatische Glykosylierung bedingt sind

ARRANGEMENT FOR COOLED PROBES

VERFAHREN ZUM VEREDELN EINES TROCKENGEFORMTEN VLIESSTOFFES UND SO VEREDELTER VLIESSTOFF

LIGHT GUIDE PLATE

Apparat zum Schwebenschmelzen und Verfahren bei dem axial bewegbare Tiegelöfen verwendet werden

LICHTSTABILISIERTES POLYAMID-SUBSTRAT UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG

HERSTELLUNG VON TRIALKYLCARBONSÄUREN UNTER VERWENDUNG EINES FESTEN SAUREN HARZKATALYSATORSYSTEMS

POLYESTER/POLYCARBONATMISCHUNGEN MIT VERBESSERTEN EIGENSCHAFTEN

VERFAHREN ZUR FILTRIERUNG

Verfahren zu Herstellung von oxidationsstabilen Oleinen und ihre Verwendung zur Herstellung von Wasch- und Reinigungsmitteln, kosmetischen und/oder pharmazeutischen Formulierungen, ungesättigten Fettalkoholen oder Estern

TTS zur Verabreichung von Sexualsteroidhormonen und Verfahren zu seiner Herstellung

DISTRIBUTED SWITCH AND CONNECTION CONTROL ARRANGEMENT AND METHOD FOR DIGITAL COMMUNICATIONS NETWORK

REDUCED PARTICLE SIZE FORM OF 1-(6-CHLORONAPHTH-2-YLSULPHONYL)-4-[4-(4PYRIDYL)BENZOYL]PIPERAZINE

NOVEL BENZIMIDAZOLES AND BENZOXAZOLES

RF ABLATION APPARATUS AND METHOD USING UNIPOLAR AND BIPOLAR TECHNIQUES