发明名称 Halbleitertestgerät und Verfahren zum Testen einer Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号 DE10028835(B4) 申请公布日期 2008.06.12
申请号 DE20001028835 申请日期 2000.06.09
申请人 ADVANTEST CORP. 发明人 FURUKAWA, YASUO
分类号 G01R31/26;G01R31/3167;G01R1/07;G01R31/316;G01R31/3193;H03M1/10 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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