摘要 |
Ein verbessertes Verfahren sowie eine verbesserte Vorrichtung zur Messung der Doppelbrechung und/oder der Retardation an Proben (3) zeichnet sich unter anderem durch folgende Maßnahmen aus: - mit einer Strahlungsanordnung mit zumindest einer Lichtquelle (LQ1, LQ2) oder mit zumindest zwei Lichtquellen (LQ1, LQ2) zur Erzeugung von zwei Lichtstrahlen (LS1, LS2; LS1_1, LS1_2; LS2_1, LS2_2), - es ist ein polarisationserhaltendes, diffraktives Element (DO; DO1, DO2) vorgesehen, und - es ist eine Detektoreinrichtung (9; 9a, 9b) mit polarisationsempfindlichen Analysatoren (A; A1, A2; 19) vorgesehen, mittels der die Intensität des von den Teilstrahlen erzeugten Beugungsstruktur-Musters (BM) messbar ist.
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