发明名称 Verfahren zur Messung der Doppelbrechung und/oder der Retardation, insbesondere an zumindest teiltransparenten Folien sowie zugehörige Vorrichtung
摘要 Ein verbessertes Verfahren sowie eine verbesserte Vorrichtung zur Messung der Doppelbrechung und/oder der Retardation an Proben (3) zeichnet sich unter anderem durch folgende Maßnahmen aus: - mit einer Strahlungsanordnung mit zumindest einer Lichtquelle (LQ1, LQ2) oder mit zumindest zwei Lichtquellen (LQ1, LQ2) zur Erzeugung von zwei Lichtstrahlen (LS1, LS2; LS1_1, LS1_2; LS2_1, LS2_2), - es ist ein polarisationserhaltendes, diffraktives Element (DO; DO1, DO2) vorgesehen, und - es ist eine Detektoreinrichtung (9; 9a, 9b) mit polarisationsempfindlichen Analysatoren (A; A1, A2; 19) vorgesehen, mittels der die Intensität des von den Teilstrahlen erzeugten Beugungsstruktur-Musters (BM) messbar ist.
申请公布号 DE102006057727(A1) 申请公布日期 2008.06.12
申请号 DE200610057727 申请日期 2006.12.07
申请人 BRUECKNER MASCHINENBAU GMBH 发明人 AUMEIER, WOLFRAM
分类号 G01N21/23;G01J4/00;G01J4/04;G01N21/21 主分类号 G01N21/23
代理机构 代理人
主权项
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