| 发明名称 |
SUBSTRATPROZESSVORRICHTUNG MIT SUBSTRATTRANSPORT MIT FRONT-ENDERWEITERUNG UND EINEM INTERNEN SUBSTRATPUFFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69838423(T2) |
申请公布日期 |
2008.06.12 |
| 申请号 |
DE1998638423T |
申请日期 |
1998.06.02 |
| 申请人 |
BROOKS AUTOMATION INC. |
发明人 |
BEAULIEU, DAVID R.;PIPPINS, MICHAEL W. |
| 分类号 |
C23C16/00;B08B7/00;B65G49/07;C23C14/50;C23C14/56;C23C16/44;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/677 |
主分类号 |
C23C16/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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