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发明名称 ARBEITSSTÜCK-BEARBEITUNGSSYSTEM
摘要
申请公布号 DE60320665(D1) 申请公布日期 2008.06.12
申请号 DE20036020665 申请日期 2003.11.13
申请人 SEMITOOL INC. 发明人 BREESE, RONALD G.;SCRANTON, DANA R.;BERGMAN, ERIC J.;BARTKOSKI, MICHAEL E.;GROVE, COBY S.
分类号 H01L21/00;A61L2/20;B01D53/66;B01D53/86;B08B3/08 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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