Target Assembly Alignment Structure of Physical Vapor Deposition Apparatus,申请号KR20030100974-传众专利搜索

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发明名称	Target Assembly Alignment Structure of Physical Vapor Deposition Apparatus
摘要
申请公布号	KR100837547(B1)	申请公布日期	2008.06.12
申请号	KR20030100974	申请日期	2003.12.30
申请人		发明人
分类号	H01L21/203	主分类号	H01L21/203
代理机构		代理人
主权项
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