| 主权项 |
1.一种供金属表面之化学机械抛光用的水性分散 液,其包含金属氧化物粉末和阳离子性表面活性聚 合物,其特征在于 --金属氧化物粉末为二氧化矽、氧化铝或二氧化 矽与氧化铝的混合氧化物,及 --阳离子性表面活性聚合物为溶解于分散液且具 有重量平均分子量低于100,000 g/mol之聚烯丙胺或聚 二烯丙胺。 2.如申请专利范围第1项之供金属表面之化学机械 抛光用的水性分散液,其特征在于阳离子性表面活 性聚合物之重量平均分子量为2000至50,000 g/mol。 3.如申请专利范围第1或2项之供金属表面之化学机 械抛光用的水性分散液,其特征在于阳离子性表面 活性聚合物之含量,相对于聚合物和金属氧化物之 含量,为介于0.1至15重量%之间。 4.如申请专利范围第1或2项之供金属表面之化学机 械抛光用的水性分散液,其特征在于金属氧化物粉 未系由火焰水解生成。 5.如申请专利范围第1或2项之供金属表面之化学机 械抛光用的水性分散液,其特征在于金属氧化物粉 末系为以高温生成之二氧化矽。 6.如申请专利范围第1或2项之供金属表面之化学机 械抛光用的水性分散液,其特征在于金属氧化物粉 末中为混合氧化物成分之氧化铝含量为介于60至99 .9重量%之间,或介于0.01至10重量%之间。 7.如申请专利范围第1或2项之供金属表面之化学机 械抛光用的水性分散液,其特征在于在分散液中金 属氧化物粉末的平均粒子直径或聚集体直径为低 于300 nm。 8.如申请专利范围第1或2项之供金属表面之化学机 械抛光用的水性分散液,其特征在于在分散液中金 属氧化物之含量,相对于分散液总量,为1至50重量% 。 9.如申请专利范围第1或2项之供金属表面之化学机 械抛光用的水性分散液,其特征在于pH为3至7。 10.如申请专利范围第1或2项之供金属表面之化学 机械抛光用的水性分散液,其特征在于其含有之添 加剂系选自包含pH调节物质、氧化剂、氧化活化 剂及/或腐蚀抑制剂之群组中。 11.一种如申请专利范围第1或2项之水性分散液使 用于金属层之化学机械抛光的用途。 12.一种如申请专利范围第1或2项之水性分散液使 用于涂覆至绝缘阻片层之金属层之化学机械抛光 的用途。 |
