利用中间印模的图案复制

摘要

本发明涉及一种用于将图案从模板(1)转移到基板的目标表面上的两步工艺，通过在初始步骤中从模板制造中间柔性聚合物印模(5)，并随后在第二步骤中使用该聚合物印模在位于目标表面上的对辐射敏感可模压层中进行压印。在第二步骤中，将聚合物印模和基板相对彼此压制的工艺步骤，通过聚合物印模对可模压层的紫外线曝光，以及对辐射后的可模压层的后烘干，都在受控的恒定温度下进行，以便消除由于热膨胀影响所引起的对形成在可模压层中的图案的损坏。

主权项

1.用于将图案从具有结构化表面的模板转移到基板的目标表面的方法，所述方法包括：初始压印步骤，包括：-制造具有图案化表面的聚合物印模，包括将所述结构化模板表面压到第一聚合物箔层的表面层中以将反转图案压印到所述表面层中的步骤；以及第二压印步骤，包括：-相互平行地布置所述聚合物印模和基板，使所述图案化表面面向所述基板的目标表面，并且设计中间层材料使其在射线中曝光时固化；-将所述聚合物印模和所述基板加热到温度TP；并且在保持所述温度TP的同时，进行如下步骤：-将所述聚合物印模压向所述基板，以将所述图案化表面的图案压印到所述中间层中；和-将所述层在射线中曝光以固化所述中间层。