发明名称 显示装置及其制造方法
摘要 本发明涉及显示装置及其制造方法。在使用了多晶半导体膜的薄膜晶体管中,在形成保持电容的情况下,多是将多晶半导体膜也用于电容的一个电极。在具备了具有这样的多晶半导体膜的保持电容和薄膜晶体管的显示装置中,由于保持电容表现出起因于半导体膜的电压依赖性,故引起了显示不良。在本发明的显示装置中,在由用作保持电容(130)的下部电极的多晶半导体膜构成的半导体层(4d)的上层层叠了金属性导电膜(5)。
申请公布号 CN101196668A 申请公布日期 2008.06.11
申请号 CN200710198911.X 申请日期 2007.12.07
申请人 三菱电机株式会社 发明人 竹口彻;今村卓司;山吉一司;入住智之;西浦笃德;本并薰
分类号 G02F1/1368(2006.01);G02F1/1362(2006.01);H01L29/786(2006.01);H01L21/027(2006.01);H01L21/84(2006.01) 主分类号 G02F1/1368(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 王岳;刘宗杰
主权项 1.一种显示装置,在绝缘性基板上具备薄膜晶体管、像素电极和保持电容,其特征在于,上述薄膜晶体管具备:半导体层;栅绝缘膜,覆盖在上述半导体层上;栅电极,具有经上述栅绝缘膜与上述半导体层对置的区域;以及源电极,与上述半导体层电连接,上述像素电极与上述半导体层电连接,上述保持电容具备:上述半导体层延伸而成的保持电容下部与在上述保持电容下部的上层所形成的导电膜的层叠结构;以及经上述栅绝缘膜与上述层叠结构对置的保持电容的上部电极。
地址 日本东京都