制作铁电存储器件的方法

摘要

在制造铁电存储器件的方法中，该存储器件包括夹在第一和第二组电极之间的存储层，该存储层以及这两组电极都采用适当的印刷方法在该存储器件中实现。

主权项

1.一种制造铁电存储器件的方法，其中该存储器件包括：铁电存储单元阵列，该阵列被限定在铁电聚合物薄膜的图案化的或未图案化的层中；以及与其相对侧的铁电层接触设置的第一和第二组电极，使得该铁电存储单元被限定在第一组电极与第二组电极的交叉之间的存储材料中，由此能够设置该存储单元的极化状态，通过将适当的电压施加到与存储单元相接触的电极来切换并检测一组极化状态，其中，该存储器件形成于绝缘衬底上，并且其中所述方法的特征在于：包含连续的步骤：a)将第一印刷墨水施加到第一印刷装置，并将该第一印刷装置施加到衬底，以便在其上印刷第一电极层，从而形成第一组电极，b)将第二印刷墨水施加到第二印刷装置，并将该第二印刷装置施加到第一电极层，并在其上印刷图案化的或未图案化的存储材料层，以及c)将第三印刷墨水施加到第三印刷装置，并将该第三印刷装置施加到存储层，并且在其上印刷第二电极装置，由此步骤a)，b)和c)的一个或多个中的印刷通过喷墨印刷、丝网印刷、柔性版印刷、胶版印刷、静电印刷、软平版印刷、激光印刷或喷蜡印刷，单独地或者组合地来执行。