硅晶片热处理用石英玻璃夹具及其制造方法

摘要

一种具有透明的切槽面的硅晶片热处理用石英玻璃夹具及其制造方法，该切槽面不会附着玻璃粉、金刚石刀等导致的过渡金属元素异物的颗粒，并且，即使在氟酸洗涤中尺寸变化也小，即使长时间使用也可高度维持清洁度，其中，上述颗粒是由以微小凹凸、微裂纹为基础的空隙的锐角凹凸的损坏引起的。硅晶圆热处理用石英玻璃夹具具备晶片载置用部件，该晶片载置用部件具有通过切削加工形成的切槽面，上述晶片载置用部件的切槽面整体为透明的，其表面粗糙度按中心线平均粗糙度(Ra)为0.03～0.3μm，按最大粗糙度(Rmax)为0.2～3.0μm，并且以5％的氟化氢水溶液处理24小时后，中心线平均粗糙度和最大粗糙度的变化率为50％以下；硅晶片热处理用石英玻璃夹具的制造方法是以粒度粗的金刚石刀对晶片载置用部件进行粗切削后，以比上述金刚石刀粒度细的金刚石刀进行再切削，接着对槽内部进行烧成。

主权项

1.一种硅晶片热处理用石英玻璃夹具，具备晶片载置用部件，该晶片载置用部件具有通过切削加工形成的切槽面，上述硅晶片热处理用石英夹具的特征在于，上述晶片载置用部件的切槽面整体为透明的，其表面粗糙度按中心线平均粗糙度(Ra)为0.03～0.3μm，按最大粗糙度(Rmax)为0.2～3.0μm，并且以5％的氟化氢水溶液蚀刻处理24小时后，中心线平均粗糙度和最大粗糙度的变化率为50％以下。