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发明名称 Lithographic apparatus with a radial polarizer
摘要
申请公布号 EP1574904(B1) 申请公布日期 2008.06.11
申请号 EP20040251329 申请日期 2004.03.08
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 STRAAIJER, ALEXANDER;CUMMINGS, KEVIN;DIERICHS, MARCEL M. T. M.;FLAGELLO, DONIS GEORGE
分类号 G03F7/20;G02B5/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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