Fabrication of microstructures for micro/nano-fluidic devices and MEMS microdevices using inorganic polymers and hydrophilic polymers,申请号KR20080016466-传众专利搜索

发明名称	Fabrication of microstructures for micro/nano-fluidic devices and MEMS microdevices using inorganic polymers and hydrophilic polymers
摘要
申请公布号	KR100836872(B1)	申请公布日期	2008.06.11
申请号	KR20080016466	申请日期	2008.02.22
申请人		发明人
分类号	B82B3/00;B82B1/00	主分类号	B82B3/00
代理机构		代理人
主权项
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