发明名称 加工装置
摘要 本发明提供一种加工装置,其在不对切削加工动作产生障碍的情况下可使针对切削液的防水结构简化并可提高防水效果。保持被加工物(10)的卡盘工作台(20)设置成在XY平面内的位置固定,另一方面,构成为通过加工进给单元(50)对切削单元(30a、30b)在X轴方向进行加工进给,并且通过切入进给单元(70a、70b)对切削单元在Z轴方向上进行切入进给,由此来进行在卡盘工作台上保持的被加工物的切削加工,作为针对切削液的防水,不需要借助于卡盘工作台周围的水平配置的波纹结构所形成的防水单元,只要例如在卡盘工作台的上方设置相对于加工进给单元、分度进给单元和切入进给单元可随动于进给动作而活动的结构简单的防水单元即可。
申请公布号 CN101197316A 申请公布日期 2008.06.11
申请号 CN200710186532.9 申请日期 2007.12.07
申请人 株式会社迪思科 发明人 田中万平;堀口义则
分类号 H01L21/78(2006.01);H01L21/301(2006.01);B28D5/02(2006.01) 主分类号 H01L21/78(2006.01)
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 代理人 党晓林
主权项 1.一种加工装置,其特征在于,所述加工装置具有:卡盘工作台,其具有保持被加工物的保持面,该卡盘工作台在XY平面内的位置固定;切削单元,其具有主轴,在该主轴上可旋转地安装有对保持在所述卡盘工作台上的被加工物进行切削的切削刀具;分度进给单元,其在与所述卡盘工作台的所述保持面平行、且作为所述主轴的轴心方向的Y轴方向上对所述切削单元进行分度进给;加工进给单元,其对所述切削单元在与Y轴方向正交的X轴方向上进行加工进给;以及切入进给单元,其对所述切削单元在与X轴方向和Y轴方向正交的Z轴方向上进行切入进给。
地址 日本东京