低阈值电压静电型微继电器

摘要

本发明涉及低阈值电压静电型微继电器。它包括可动梳齿和固定梳齿、折叠弹簧梁、多级梳齿连接梁，对应的可动梳齿上的叉齿与固定梳齿的叉齿之间形成平板电容，当施以电激励时，可动梳齿带动多级梳齿连接梁发生横向位移，使触点与电路中固定电极接触，在电激励撤消时，折叠弹簧梁的弹性回复力使多级梳齿连接梁带动触点复位。本发明通过并联梳齿级数和增加叉齿数目来降低微继电器的阈值电压，解决了现有技术中静电型微继电器驱动电压高、难与工作电路电压兼容的问题，其阈值电压可降至5V，使得该静电型微继电器的驱动电压可以与普通电子电路的工作电压相兼容，使得在普通电子电路的工作电压下实现可靠的开关行为。

主权项

1.低阈值电压静电型微继电器，包括压焊块[101]、可动梳齿[102]和固定梳齿[103]、触点[104]、隔离栅[105]、折叠弹簧梁[106]、多级梳齿连接梁[107]、隔离墙[108]、衬底[201]，其特征在于：压焊块[101]，用于施加电激励；两个以上可动梳齿[102]并联，两个以上固定梳齿[103]并联，可动梳齿和固定梳齿数目相等并且间隔排列，形成级联的梳齿结构，可动梳齿上具有两个以上叉齿[301]，固定梳齿上具有两个以上叉齿[302]，对应的可动梳齿上的叉齿[301]与固定梳齿上的叉齿[302]数目相等且间隔排列成交错状，之间形成平板电容，提供微继电器横向驱动的静电驱动力；可动梳齿[102]通过多级梳齿连接梁[107]连接，形成并联梳齿结构，整个可动部件再通过折叠弹簧梁[106]与压焊块[101]连接；多级梳齿连接梁[107]的一端通过隔离栅[105]连接触点[104]，可动梳齿[102]与固定梳齿[103]在电激励作用下产生的静电驱动力可使多级梳齿连接梁[107]带动触点[104]一起发生横向位移，使触点[104]与电路中固定电极接触，在电激励撤销时，折叠弹簧梁[106]的弹性回复力使多级梳齿连接梁[107]带动触点[104]复位；固定梳齿[103]直接与隔离墙[108]内侧的硅片结构连接；可动梳齿[102]连接的折叠弹簧梁[106]的两端附着在隔离墙[108]内侧的硅片结构上；隔离墙[108]通过阻断压焊块[101]和衬底[201]之间的电接触，实现集成电路和微继电器的电隔离，隔离墙外侧的衬底[201]作为整个微继电器结构的支架。