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发明名称
摘要
申请公布号
JP4100351(B2)
申请公布日期
2008.06.11
申请号
JP20040032572
申请日期
2004.02.09
申请人
发明人
分类号
H01L21/28;H01L29/786;H01L21/288;H01L21/336;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78;H01L51/00;H01L51/05;H01L51/10;H01L51/30;H01L51/40
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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