发明名称 WAFER INSPECTION SYSTEM AND A METHOD FOR TRANSLATING WAFERS
摘要
申请公布号 EP1929315(A2) 申请公布日期 2008.06.11
申请号 EP20060766232 申请日期 2006.08.24
申请人 CAMTEK LTD. 发明人 NISANY, ITZIK;VANO, MOSHIK;GILEAD, AMIR;VAINER, MICHAEL;NUZNI, VALERY
分类号 G01R31/26;G01M99/00 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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