固体摄像元件及其驱动方法

摘要

在有横型排泄的CCD固体摄像元件中，使加在漏极区上的电压脉冲低压化。将宽度窄的第一区60设置在沟道区50和漏极区54之间设置的分离区56中电荷传输方向的一部分上，其他部分作为宽度相对宽的第二区62。按照与第一区60相邻的传输电极12-2下面的信息电荷所在位置的时序，将电压脉冲加在漏极区54上，使分离区56形成的电位势垒下降。在第一区60中即使脉冲呈低电压，电位势垒也能充分地降低，排出不需要的电荷。另一方面，在信息电荷通过与第二区62相邻的沟道区50的情况下，第二区62的电位势垒能防止电荷向漏极区54漏出，确保传输效率。

主权项

1.一种固体摄像元件，其特征在于：备有沟道区，在半导体衬底的一个主面上以规定的间隔互相平行地沿着第一方向配置，且具有第一导电型的杂质区；多个漏极区，具有第一导电型的杂质区，该杂质区的杂质浓度比上述沟道区的杂质浓度要高，在相邻的沟道区之间沿着上述第一方向延伸配置；分离区，在上述沟道区及上述漏极区的间隙中配置，且具有与上述第一导电型不同的导电型的第二导电型；以及多个传输电极，在上述半导体衬底上沿着与上述第一方向交叉的第二方向延伸互相平行配置，以多个传输电极中的N个传输电极为一组，N为2以上的整数，上述分离区使得上述一组的传输电极中至少一个传输电极下面的区域的宽度比其他传输电极下面的区域的宽度窄。