| 发明名称 | 位置测量技术 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种测量标记位置的位置测量装置，该装置具备：摄像单元；求出用上述摄像单元得到的图像数据的偏差的计算单元；基于对于在不同受光量下用上述摄像单元得到的多个图像数据用上述计算单元分别求得的偏差，设定与上述摄像单元的受光量有关的参数的设定单元。 | ||
| 申请公布号 | CN100394573C | 申请公布日期 | 2008.06.11 |
| 申请号 | CN200510062774.8 | 申请日期 | 2005.03.30 |
| 申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 林望 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | H01L21/66(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 吴丽丽 |
| 主权项 | 1.一种测量标记位置的位置测量装置，该装置具备：对上述标记进行摄像的摄像单元；求出用上述摄像单元得到的图像数据的偏差的计算单元；基于对于在相互不同蓄积时间下用上述摄像单元得到的多个图像数据用上述计算单元分别求得的偏差，设定上述摄像单元的蓄积时间以及上述摄像单元的受光量容限之一的设定单元。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||