表面处理装置及液晶显示装置的制造方法

摘要

提供一种表面处理装置及液晶显示装置的制造方法。该清洗装置具有使转动的清洗刷接近基板的清洗刷驱动机构，对转动中的清洗刷的刷洗材前端的接触分离而在基板上形成的多个导体图形中发生的电位进行计测并利用该结果对清洗刷的定位进行控制。由此，可以利用清洗刷对以大型基板为对象的被清洗面进行均匀的清洗处理，结果可以以高成品率在清洗后的基板上形成高品质的液晶显示用晶体管。

主权项

1.一种表面处理装置，其特征在于包括：驱动单元，用于使具有轴和前端朝向从该轴的外周面离开的方向的多个线材的部件围绕上述轴转动，同时，使上述轴向着沿着上述轴的方向并行设置于基板的一个面内的第1及第2导体图形和上述轴的间隔变窄的方向移动；电位测定单元，用于分别测定通过与转动中的上述部件的线材的接触而带电的上述第1及第2导体图形的电位；以及控制单元，用于在转动中的上述具有多个线材的部件的移动过程中，在上述第1导体图形的电位比上述第2导体图形的电位更早出现大于等于基准幅度的变动时，控制上述驱动单元来改变上述具有多个线材的部件相对于形成了上述第1及第2导体图形的上述面的距离。