超小型制品用的微小稀土磁铁及其制造方法

摘要

本发明以制得稀土磁铁为目的，尤其以在制造小体积稀土磁铁及使用该磁铁的超小型电动机时提供有效的手段。磁铁块材料通过机械加工所形成的稀土磁铁，该磁铁是表面积/体积的比率在2mm^-1以上，体积在100mm³以下，于相当于正露出该磁铁的最表面的结晶粒子的半径的深度以上，通过使由磁铁表面扩散渗透稀土金属至该磁铁内部，对由前述加工引起的变质损伤部予以改质，而具有(BH)_最大在280k J/m³以上的磁性的超小型制品用的微小、高性能稀土磁铁。对保持于减压槽内通过物理方式使已蒸气或微粒子化的R金属或含R金属的合金(其中，R是由Y及Nd、Dy、Pr、Ho、Tb选出的稀土元素的一种或二种以上)以三维方式的飞溅至该磁铁的表面积的全部或一部分并成膜，且于相当于正露出该磁铁的最表面的结晶粒子的半径的深度以上，通过使R金属由磁铁表面扩散渗透至该磁铁内部。

主权项

1.一种超小型制品用的微小稀土磁铁的制造方法，其特征在于，对具有磁铁块材料经裁断、挖孔、表面研削及研磨机械加工所形成的已挖洞的内表面的圆筒形状或圆盘形状的稀土磁铁，该磁铁是表面积/体积的比率在2mm-1以上，体积在100mm3以下的稀土磁铁，将延伸至已对向配置的靶材的中间的等离子空间的电极线插入该磁铁的洞孔，保持在减压槽内，以该电极线为旋转轴并边使该磁铁旋转，边通过溅镀法使已微粒化的由Y及Nd、Dy、Pr、Ho、Tb选出的稀土元素的一种或二种以上的R金属或含R金属的合金成三维的飞溅在该磁铁的表面的全部或一部分上并予形成薄膜，且在相当于正露出该磁铁的最表面的结晶粒子的半径的深度以上，通过溅镀法使已微粒化或蒸汽化的R金属或含R金属的合金由磁铁表面扩散渗透R金属至该磁铁内部，对由前述加工引起的变质损伤部予以改质，而使已降低的(BH)最大恢复至280kJ/m3以上。