制造电容式加速度传感器的方法和电容式加速度传感器

摘要

本发明涉及用于测量加速度的测量装置，更具体而言涉及电容式加速度传感器。本发明的目的是提供一种改进的制造电容式加速度传感器的方法，并且提供一种电容式加速度传感器，其适合于在小型电容式加速度传感器方案中使用，并且特别适合于在测量关于若干条轴线的加速度的小型和极薄的电容式加速度传感器方案中使用。

主权项

1.一种用于由晶片元件制造出电容式加速度传感器的方法，在该方法中，在中心晶片上制造出形成了移动电极的惯性质量块(19)，(27)，(34)，扭簧(22)，(30)，(39)在所述质量块的纵向方向上对称地、并且在所述质量块的厚度方向上非对称地支撑着所述质量块；并且在第二晶片上制造测量电极(20)，(21)，(28)，(29)，(37)，(38)，所述电极相对于所述扭簧(22)，(30)，(39)和所述质量块(19)，(27)，(34)对称地定位成面向所述质量块(19)，(27)，(34)的第一侧，其特征在于，在所述加速度传感器的质量块(19)，(27)，(34)中，在第二侧，即与所述第一侧相反的一侧，制造有非对称定位的减轻特征(23)，(24)，(31)，(32)，(40)，(41)。