显示装置的制造方法

摘要

利用物镜集中激光束并且将其辐射到具有1微米或者更小的晶粒大小的非晶硅薄膜或者多晶硅薄膜上，从连续波形激光束开始处理激光束，(1)以便于利用EO调制器使其脉动并且在脉动时具有任意的随着时间的能量变化；(2)利用光束均匀器、具有任意透射率分布的滤波器和矩形狭缝使得具有任意的空间能量分布；和(3)利用高速旋转的漫射器来除去相干性。这样，有可能实现一种液晶显示设备，其中，在TFT面板装置中包含驱动电路，该驱动电路包括具有与单晶体属性基本相同的多晶硅膜。

主权项

1.一种显示装置的制造方法，其特征在于：依下述顺序进行：第1工序，通过一边移动形成有半导体膜的基板的主表面上的连续振荡激光的投射位置，一边将该半导体膜的该连续振荡激光的照射点亮/关断，以点亮状态的该连续振荡激光依次照射该半导体膜的每个希望的区域，而在该区域上生长带状的半导体结晶粒；和第2工序，在上述半导体膜的上述区域上，形成将上述带状的半导体结晶粒作为有源区域的薄膜晶体管。