| 发明名称 | 光掩膜的检查装置和方法、制造方法和图案转录方法 | ||
| 摘要 | 在本发明的光掩膜的检查装置中，由光掩膜保持部(3a)保持光掩膜(3)，经照明光学系统(2)向光掩膜(3)照射来自光源(1)的规定波长的光束，经物镜系统(4)，由摄像元件(5)摄像光掩膜(3)的像。使照明光学系统(2)、物镜系统(4)和摄像元件(5)的光轴一致，沿光轴方向彼此独立移动操作物镜系统(4)和摄像元件(5)，摄像光掩膜(3)的像。 | ||
| 申请公布号 | CN101196681A | 申请公布日期 | 2008.06.11 |
| 申请号 | CN200710196458.9 | 申请日期 | 2007.12.05 |
| 申请人 | HOYA株式会社 | 发明人 | 吉田光一郎;平野照雅 |
| 分类号 | G03F1/00(2006.01);G03F7/20(2006.01);G03F7/00(2006.01);H01L21/027(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | G03F1/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李香兰 |
| 主权项 | 1.一种光掩膜的检查装置，其特征在于，具备：保持作为被检体的光掩膜的掩膜保持部件；发出规定波长的光束的光源；照明光学系统，引导来自所述光源的光束，向由所述掩膜保持部件保持的光掩膜照射该光束；物镜系统，入射被照射到所述光掩膜、并经过了该光掩膜的所述光束；摄像部件，接收经过了所述物镜系统的光束，摄像所述光掩膜的像；支持部件，分别支持所述照明光学系统、所述物镜系统和所述摄像部件；移动操作部件，移动操作所述各个支持部件；和控制部件，控制所述移动操作部件，所述控制部件通过控制所述移动操作部件，在与由所述掩膜保持部件保持的光掩膜的主平面平行的面内，移动操作所述照明光学系统、所述物镜系统和所述摄像部件，在使它们的光轴一致的状态下，使位于规定位置，并且，在光轴方向上位置调整所述物镜系统和所述摄像部件的至少一个。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||