发明名称 NOUVEAUX PRECURSEURS POROGENES ET COUCHES DIELECTRIQUES POREUSES OBTENUES A PARTIR DE CEUX-CI
摘要
申请公布号 FR2899379(B1) 申请公布日期 2008.06.06
申请号 FR20060051126 申请日期 2006.03.31
申请人 L'AIR LIQUIDE SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 发明人 DEVAL JOANNE;VAUTIER MANON
分类号 H01L21/312;C07C49/21;C07D303/04;C07D307/06;C07D309/04;C07D493/08;H01L23/532 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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