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发明名称 WÄRMEBEHANDLUNGSGERÄT UND METHODE
摘要
申请公布号 DE60038669(D1) 申请公布日期 2008.06.05
申请号 DE20006038669 申请日期 2000.11.29
申请人 TOKYO ELECTRON LTD. 发明人 SAITO, TAKANORI;OSANAI, HISAEI;MAKIYA, TOSHIYUKI
分类号 H01L21/22;H01L21/31;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/46;H01L21/00;H01L21/205 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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