| 摘要 |
Beschichtungsanlage (2000) mit einer Beschichtungskammer (2001) und mindestens einem innerhalb der Beschichtungskammer (2001) bewegbar angeordneten Substrathalter (2002) zur Aufnahme von zu beschichtenden Substraten (2003). Die Beschichtungsanlage (2000) soll weiterhin eine Funkvorrichtung mit mindestens einem ersten Funkgerät (2004), welches mit dem Substrathalter (2002) verbunden ist, und einem zweiten Funkgerät (2005), welches zumindest teilweise außerhalb der Beschichtungskammer (2001) angeordnet ist, umfassen. Zwischen dem ersten (2004) und dem zweiten Funkgerät (2005) soll zumindest zeitweise eine Funkverbindung zur Übertragung von Informationen bestehen.
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