发明名称 Sondenhalter für eine Sonde zur Prüfung von Halbleiterbauelementen
摘要 Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Sondenhalter anzugeben, der geringen Horizontalversatz der Sondennadel bei Einwirkung einer Vertikalkraft aufweist, wird erfindungsgemäß gelöst durch einen Sondenhalter für eine Sondennadel, der zur Befestigung und elektrischen Kontaktierung an einer Trägereinrichtung einer Prüfvorrichtung ausgebildet ist und einen Halterarm mit einer am freien Ende des Halterarms angeordneten Nadelaufnahme zur Befestigung der Sondennadel aufweist, und ist dadurch gekennzeichnet, dass weiterhin ein Befestigungsarm zur Verbindung des Sondenhalters mit der Trägereinrichtung vorgesehen ist und dass der Halterarm und der Befestigungsarm durch ein Gelenk miteinander verbunden sind. Der Grundgedanke der Erfindung basiert auf der Überlegung, dass der Horizontalversatz der Nadelspitze aufgrund äußerer Kräfte dadurch verringert oder sogar verhindert werden kann, dass fgrund einer Relativverdrehung der Sondennadel gegenüber dem Halterarm oder aufgrund einer Biegeverformung des Halterarms vergrößert wird, so dass die Krümmung der Bahn, auf der sich die Spitze der Sondennadel während dieser Ausweichbewegung bewegt, verringert.
申请公布号 DE102006056646(A1) 申请公布日期 2008.06.05
申请号 DE200610056646 申请日期 2006.11.29
申请人 SUSS MICROTEC TEST SYSTEMS GMBH 发明人 KIESEWETTER, JOERG;KREISIG, STEFAN;KANEV, STOJAN
分类号 G01R31/28;G01R31/26 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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