发明名称 Laufende Beschichtung
摘要 Bei der Vorrichtung zur Beschichtung eines bandförmigen Substrats, welches während der Beschichtung in einer Laufrichtung X bewegbar ist, mit einer Anzahl von Verdampferschiffchen, die eine Verdampferbank bilden, einer Einrichtung zur elektrischen Beheizung der Verdampferschiffchen sowie einer Einrichtung zur Zuführung von zu verdampfendem Draht zu den Verdampferschiffchen, wobei die Anzahl der Verdampferschiffchen von einer Menge A und einer Menge B von Verdampferschiffchen gebildet wird, die Verdampferschiffchen der Menge A eine Länge LA in einem Bereich zwischen L0 - delta A und L0 + delta A aufweisen, die Verdampferschiffchen der Menge B eine Länge LB in einem Bereich zwischen L0 - delta B und L0 + delta B aufweisen und die Anzahl der Verdampferschiffchen innerhalb eines sich parallel zur Richtung Y erstreckenden Bereichs mit einer Breite von höchstens 2 L0 + delta A + delta B in X-Richtung angeordnet sind, ist vorgesehen, dass die Verdampferschiffchen der Menge A und der Menge B alternierend nebeneinander und die Verdampferschiffchen der Menge A jeweils in einem Winkel alpha in einem Bereich zwischen -1° und -89° relativ zur Richtung X und die Verdampferschiffchen der Menge B jeweils in einem Winkel beta zwischen 1° und 89° relativ zur Laufrichtung X angeordnet sind. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Auslegung einer Vorrichtung zur Beschichtung eines bandförmigen Substrats.
申请公布号 DE102006056984(A1) 申请公布日期 2008.06.05
申请号 DE200610056984 申请日期 2006.11.30
申请人 LEYBOLD OPTICS GMBH 发明人 KUEPER, STEPHAN
分类号 C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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