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发明名称 Sensorsystem und Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号 DE19735379(B4) 申请公布日期 2008.06.05
申请号 DE19971035379 申请日期 1997.08.14
申请人 PERKINELMER OPTOELECTRONICS GMBH;ROBERT BOSCH GMBH;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 SCHIEFERDECKER, JOERG;SIMON, MARION;STORCK, KARLHEINZ;ROTHLEY, MANFRED;ZABLER, ERICH;JAEHNE, ROLF
分类号 G01J1/02;G01J5/10;B81C99/00;G01J5/00;G01J5/12;G01J5/16;G01J5/22;H01L31/10;H01L35/02;H01L37/00 主分类号 G01J1/02
代理机构 代理人
主权项
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