| 摘要 |
<p>En prosess for fremstilling av mikromekaniske anordninger blir beskrevet, hvor anordningene blir dannet ved å sammenføye to deler ved direkte bonding, der en av delene (12) er laget av silisium og den andre er laget av et materiale valgt fra silisium og et keramisk eller oksidisk halvledermateriale, slik at forbindelsen mellom de to delene danner en kavitet (14) som inneholder de funksjonelle elementene i anordningen (11), eventuelt tilleggselementer og en avsetning (13) av et 15 gettermateriale.</p> |
