四自由度真空调谐器

摘要

本发明公开了一种四自由度真空调谐器，包括带有透明视窗的真空室及设置在真空室内的调谐工具和控制装置，通过在真空室外部操纵该控制装置，所述调谐工具能够在真空室内四自由度运动，在控制装置上设置有保持真空室的真空状态的真空密封装置；本发明四自由度真空调谐器，模拟人手调谐动作，操作者通过在真空室外操纵运动传动把手，就可以实现调谐工具的四个自由度的运动，准确便利的完成在真空、低温条件下对超导滤波器的调谐工艺。

主权项

1.一种四自由度真空调谐器，其特征在于，包括带有透明视窗的真空室及设置在真空室内的调谐工具和控制装置，通过在真空室外部操纵该控制装置，所述调谐工具为调谐改锥，该调谐工具能够在真空室内四自由度运动；所述控制装置包括调谐支架、运动机构、二维运动传动器和软轴操作器，所述调谐改锥安装在调谐支架上；运动机构分别与调谐支架和二维运动传动器相连，软轴操作器驱动调谐改锥作垂直方向运动及绕垂线转动，二维运动传动器通过运动机构控制调谐支架作二维平面运动，在控制装置上还设置有保持真空室的真空状态的真空密封装置。