旋转头、操作旋转头的方法及用旋转头处理基板的装置

摘要

本发明公开了旋转头、操作旋转头的方法及用旋转头处理基板的装置，为提高效率而发明。所述旋转头包括：旋转体，卡住/放开工具，驱动单元。所述基板处理装置包括：壳体，旋转头，注入部件。一种操作旋转头的方法，包括：将基板加载到具有顶部表面的物体上，在所述顶部表面上，设置有第一和第二卡销；在第一个处理过程时间里，通过第一卡销卡住基板，并且在旋转该物体时执行基板处理的过程；在第二个处理过程时间里，通过第二个卡销卡住基板，并且在旋转该物体时执行基板处理的过程。本发明能够防止处理液残留在基板的表面，提高处理效率。

主权项

1.一种旋转头，该旋转头包括：旋转体；卡住/放开工具，该卡住/放开工具设置成环形地环绕在该旋转体的顶部表面的中心，并且包括多个用来在处理过程中部分地卡住/放开基板边缘的卡销；驱动单元，用来以预定的角度旋转卡销，来选择性地变化各个卡销与基板接触的部位；其中驱动单元包括：可以上下运动的提升部件；和把提升部件的上下运动转换为卡销的旋转运动的运动转换部件。