晶片工艺平台的安全监控设备

摘要

本发明是有关于一种晶片工艺平台的安全监控设备，主要是设于该晶片工艺平台上供运送晶片的移载装置上，一振动或声音或形变感应器供侦测该移载装置运作时所产生的振动或声音或曲率或位移量，一判别模块接收该振动或声音或形变感应器所侦测的振动或声音或曲率或位移量，并将其转换成数字信号及与预先设定的标准信号范围作比对分析，一警示装置于该判别模块比对分析判别出该振动或声音或形变感应器所侦测的数字信号超过标准信号范围或发生异常时，则会产生一警示的声、光；如此，便可于该晶片工艺平台的移载装置的运动发生异常的初始，便能实时地发现及排除，以藉此而具有能有效地大幅降低不良率产生的效益。

主权项

1.一种晶片工艺平台的安全监控设备，其特征在于包括：一形变感应器，设于该晶片工艺平台的移载装置上，供侦测该移载装置运作时所产生的形变；一判别模块，接收来自该形变感应器所侦测的形变，并将其转换成数字信号，且与预先设定的标准信号范围作比对分析；一警示装置，于该判别模块比对分析出该形变感应器所侦测的数字信号超过标准信号范围而发生异常时，即产生一警示信号以提醒工作人员。