| 发明名称 |
自动校正机械手臂 |
| 摘要 |
本发明涉及一种自动校正机械手臂。该自动校正机械手臂，其包括一主体，一用以承载晶圆的晶圆承载夹持机构以及至少一个连接该主体与晶圆承载夹持机构的连接臂，其中，该自动校正机械手臂还包括设置在晶圆承载夹持机构上的多个光学感测器和多个位移感测器，该多个光学感测器包括至少一对第一光学感测器和至少一个第二光学感测器，该对第一光学感测器设置在该晶圆承载夹持机构远离该连接臂的一端处，该第二光学感测器与该对第一光学感测器位于至少两条直线上，该多个光学感测器用以确定晶圆的圆心；该多个位移感测器分别设置在晶圆承载夹持机构上，且该多个位移感测器位于至少两条直线上以感测确定晶圆的相对水平度。 |
| 申请公布号 |
CN101190525A |
申请公布日期 |
2008.06.04 |
| 申请号 |
CN200610156987.1 |
申请日期 |
2006.11.22 |
| 申请人 |
富士迈半导体精密工业（上海）有限公司;沛鑫半导体工业股份有限公司 |
发明人 |
黄泓凯;郑凯仁 |
| 分类号 |
B25J9/00(2006.01);B25J9/10(2006.01);B65G43/00(2006.01);B65G49/07(2006.01) |
主分类号 |
B25J9/00(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种自动校正机械手臂，其包括一主体，一用以承载晶圆的晶圆承载夹持机构以及至少一个连接该主体与晶圆承载夹持机构的连接臂，其特征在于，该自动校正机械手臂还包括设置在晶圆承载夹持机构上的多个光学感测器和多个位移感测器，该多个光学感测器包括至少一对第一光学感测器和至少一个第二光学感测器，该对第一光学感测器设置在该晶圆承载夹持机构远离该连接臂的一端处，该第二光学感测器与该对第一光学感测器位于至少两条直线上，该多个光学感测器用以确定晶圆的圆心；该多个位移感测器分别设置在晶圆承载夹持机构上，且该多个位移感测器位于至少两条直线上以感测确定晶圆的相对水平度。 |
| 地址 |
201600上海市松江区松江工业区西部科技园区文吉路500号 |
