| 发明名称 | 一种能够防止短路的射频线圈 | ||
| 摘要 | 一种防止短路的射频线圈，用于物理气相淀积阻障层金属的设备，该射频线圈包括：射频线圈本体和其上的突出部分，而突出部分还包括：中心槽、中心槽壁、环槽以及环槽外壁；射频线圈的突出部分通过金属棒与外接电源连接，通过螺栓固定到防护墙，通过绝缘部分与金属杯及防护墙进行绝缘，其中，环槽外壁的长度比中心槽壁的长度短，因此金属杯底部与射频线圈突出部分的环槽外壁顶部的间距增大，避免了在设备工作过程中金属杯底部与射频线圈外壳顶部的短路问题，从而提高制程容许度。 | ||
| 申请公布号 | CN101191196A | 申请公布日期 | 2008.06.04 |
| 申请号 | CN200610118509.1 | 申请日期 | 2006.11.20 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 黎东明;陈勇志;曾玉帆;边逸军 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01);H01L21/203(2006.01);H01F5/00(2006.01) | 主分类号 | C23C14/35(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 李勇 |
| 主权项 | 1.一种能够防止短路的射频线圈，用于物理气相淀积阻挡层金属的设备，包括：射频线圈本体，呈圆环形，具有一开口，可在高真空状态下，形成一个直流耦合的射频；两个连接部分，设置于所述本体的外侧，所述开口的两侧，用于将射频线圈本体固定到所述设备，并使其与外接电源连接，该连接部分包括：中心槽、中心槽壁、环槽以及环槽外壁；其特征在于，所述环槽外壁的长度比所述中心槽壁短。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 | ||