一种半导体集成线路制造中磷酸液交换方法及控制程序

摘要

本发明揭示了一种半导体集成线路制造中的磷酸液交换方法和控制程序。在作业制品若干批次后，内槽(21)和外槽(22)的相应液位传感器在控制程序，进行部分量的磷酸药液交换，确保了槽内的磷酸药液始终维持对硅离子一定的溶解能力，而又在每个作业制品批次数和整个药液寿命期间内的磷酸药液对氧化硅膜蚀刻速率既可以达到工艺要求，又有效地改善氧化硅颗粒析出问题，提高了产品的质量和合格率。

主权项

1.一种半导体集成线路制造中磷酸液交换方法，其特征在于，该方法包含全量槽药液交换的步骤、在N(N为大于0的整数)批次数制品作业后进行部分量的磷酸药液交换的步骤、以及以该部分磷酸药液交换进行X(X为大于0的整数)次循环的部分药液交换后再做全槽药液交换的步骤；其中所述X次的每次部分药液交换的频率仍为N个批次的制品，全槽药液交换的频率也为N个批次的制品。