| 发明名称 | 气体监测装置 | ||
| 摘要 | 本发明的气体控制装置(1)，其包括由气密且导磁的外周壁(6)限定的轴向凸起(5)，其与密闭空间如制程腔(11)相连，制程腔(11)中具有用于监测的气体。光辐射传感器(3)被放置在连接密闭空间的轴向凸起(5)的端部，且使得光通过光纤(4a)传输到光谱仪(4)。等离子体发生器(17，18)在连接该密闭空间的轴向凸起(5)的内部空间(8)产生监测等离子体(16)。在连接该密闭空间的轴向凸起(5)的外周壁(6)的外部放置一个或多个磁体(7，7a)，以在传感器(3)附近产生磁场(9)而形成阻止该监测等离子体(16)的电离粒子向传感器(3)传播的磁壁垒。这样防止了该传感器(3)和该密闭空间被阻塞。 | ||
| 申请公布号 | CN101194339A | 申请公布日期 | 2008.06.04 |
| 申请号 | CN200680020482.0 | 申请日期 | 2006.06.05 |
| 申请人 | 阿尔卡特朗讯公司 | 发明人 | C·诺米内;D·皮埃尔让 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01) | 主分类号 | H01J37/32(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 杨晓光;李峥 |
| 主权项 | 1.一种监测装置(1)，其使用光学发光光谱法监测密闭空间中所含的气体物质，该装置包括：通过开口端(5a)连接所述密闭空间的轴向凸起(5)，该凸起由可透过磁场和射频波的气密外周壁(6)所限定；用于在所述轴向凸起(5)的内部空间(8)中产生监测等离子体(16)的装置(17，18)，该等离子体发出用于分析的光；位于所述轴向凸起(5)的壁(6)上的至少一个传感器(3)，以接收由所述监测等离子体(16)发出的光辐射；以及放置在所述气密壁(6)外部的发光光谱分析装置(4)，其接收由所述监测等离子体(16)发出、且被所述传感器(3)接收的光；该装置的特征在于，其还包括场发生器装置(7)，用于在所述轴向凸起(5)的内部空间(8)中产生场(9)，该场相对于朝向所述传感器(3)的光通量的传播方向I-I横向地取向，且用于使所述监测等离子体(16)的电离粒子(20)和电子的通量偏离所述传感器(3)，所述装置(7)被放置为靠近所述轴向凸起(5)的气密外周壁(6)且位于所述气密外周壁(6)的外部，以在所述轴向凸起(5)的与其开口端(5a)相对、且邻近所述传感器(3)的端部产生场(9)。 | ||
| 地址 | 法国巴黎 | ||