发明名称
摘要
申请公布号 JP4094539(B2) 申请公布日期 2008.06.04
申请号 JP20030414173 申请日期 2003.12.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/20;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址