金属有机物化学气相沉积设备反应腔的加热系统

摘要

一种金属有机物化学气相沉积设备反应腔的加热系统，主要包括反应气体进气管道、石墨圆片、石墨舟、基座、石英罩、加热器、冷却介质进排气管道、反应室，所述反应气体进气管道末端设有缓冲腔、喷淋口，喷淋口与基座之间形成一个反应室，基座的内层为石英罩，石英罩与基座之间形成一个空腔，空腔通过进排气管道与冷却源连接，石英罩内装有高频感应加热器，石墨舟、石墨圆片直接嵌套在基座上。本发明的优点是采用高频感应加热的方式及基座和石英罩组成的双层结构，实现快速加热而均匀加热，有效提高反应气体的利用效率，避免预反应的发生。

主权项

1.一种金属有机物化学气相沉积设备反应腔的加热系统，主要包括：反应气体A进气管道(1)，反应气体B进气管道(2)，反应气体A预加热石墨圆片(13)，石墨舟(11)，基座(4)，石英罩(9)，高频感应加热器(10)，石英罩(9)中心的通气管(8)，冷却介质排气管(6)，反应室(5)，其特征在于所述反应气体A进气管道(1)、气体B进气管道(2)设置于加热系统顶部，反应气体B进气管道末端设有缓冲腔(12)、缓冲腔(12)的底部设有喷淋口(3)，喷淋口(3)的下方为基座(4)，喷淋口(3)与基座(4)之间形成一个反应室(5)，基座(4)的内层为石英罩(9)，石英罩(9)与基座(4)之间形成一个空腔，空腔通过石英罩的中心管(8)和排气管(6)与外界冷却源连接，石英罩内装有高频感应加热器(10)，石墨舟(11)和反应气体A预加热石墨圆片(13)直接嵌套在基座(4)上，石墨圆片(13)设于气体A的出口处，对气体A进行预裂解。