用磁场相互作用力的原理测量微小长度的装置

摘要

用磁场相互作用力的原理测量微小长度的装置，它涉及一种测量微小长度的装置。解决现有纳米测量仪器调试操作复杂、造价高、量程小问题。装置一：上、下磁铁装在磁铁行程限位筒(4)内且相邻一端磁性相同，下磁铁(3)通过距离调节装置(8)与压力测量仪(5)连接，上磁铁(2)与测量头(6)固接；其装置二与一不同点是：上、下磁铁相邻一端磁性相异，下磁铁(3)与拉力测量仪(16)固接，上、下测量爪与上、下磁铁固接。本实用新型具有精度超高、量程宽、造价低、操作简单的优点，本实用新型既可用于测量微米、亚微米级，也可用于纳米级及精度更高的测量；既可用于纯机械、传统仪器的更新改造，又可用于尖端科技的高层突破。

主权项

1.一种用磁场相互作用力的原理测量微小长度的装置，它包括支架(1)、上磁铁(2)、下磁铁(3)；其特征在于它还包括测量仪、磁铁行程限位筒(4)、距离调节装置(8)和测量装置；所述测量仪是压力测量仪(5)，所述测量装置是测量头(6)，所述磁铁行程限位筒(4)的上端面设有中心孔(7)，磁铁行程限位筒(4)固装在支架(1)内，所述上磁铁(2)和下磁铁(3)均装在磁铁行程限位筒(4)内，且上磁铁(2)和下磁铁(3)相邻一端的磁性相同，下磁铁(3)的下端通过距离调节装置(8)与压力测量仪(5)连接，所述压力测量仪(5)固定在支架(1)内的底座(9)上，上磁铁(2)的上端面与测量头(6)的下端面固接，测量头(6)的下端装在磁铁行程限位筒(4)内，测量头(6)的上端穿过所述中心孔(7)露在磁铁行程限位筒(4)的外面。