| 发明名称 |
ARTIFICAIL CRYSTAL MEMBER, EXPOSURE SYSTEM, AND PRODUCTON METHOD FOR EXPOSURE SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1652972(A4) |
申请公布日期 |
2008.06.04 |
| 申请号 |
EP20040747307 |
申请日期 |
2004.07.09 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
MIZUGUCHI, MASAFUMI;KOMINE, NORIO;JINBO, HIROKI |
| 分类号 |
C30B29/18;G02B1/02;G02B5/04;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
C30B29/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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