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发明名称
摘要
申请公布号 JP4096585(B2) 申请公布日期 2008.06.04
申请号 JP20020077162 申请日期 2002.03.19
申请人 发明人
分类号 H01L51/50;H05B33/10;G09F9/00;G09F9/30;H01L27/32;H05B33/12;H05B33/14;H05B33/22 主分类号 H01L51/50
代理机构 代理人
主权项
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