片式陶瓷频率器件的振动腔的制备方法及专用贴片工作台

摘要

本发明公开了一种片式压电陶瓷频率器件的振动腔的制备方法及专用的贴片工作台。该方法的特征是：用粘纸作为陶瓷板的掩膜，通过沙在陶瓷板上形成凹坑，避免了陶瓷板烧结过程中收缩不均匀性对凹坑精度的影响。制备过程是在专用的贴片工作台上进行，保证了陶瓷板上凹坑的精度，陶瓷板和压电振子的粘合精度，从而保证了振动腔的精度。本发明工艺重复性好，操作简单。

主权项

1.一种片式陶瓷频率器件的振动腔的制备方法，其特征在于具体步骤如下：A.根据腔的平面尺寸要求制作一个m×n列阵高精度冲纸模具，m＝1、2、3、…，n＝1、2、3、…；B.利用该模具和冲床在市售的粘纸上冲出m×n列阵孔，该孔的大小就是振动腔的平面尺寸；C.制备二片二面平行的陶瓷板，陶瓷板平面尺寸与粘纸相同；D.将带有列阵孔的粘纸放在贴片工作台上，粘纸面朝下，衬底朝上，并将粘纸的二边紧贴贴片工作台上的三个定位销，开启工作台的负压装置，将粘纸吸牢，然后用镊子钳轻轻地将衬底去掉，再将陶瓷片的两边紧贴三个定位销放到粘纸上贴牢，关闭负压装置，此时粘纸转为陶瓷板的掩膜；E.将带有掩膜的陶瓷板放在喷砂机上进行喷砂，最后在陶瓷板上形成和粘纸精度一样的凹坑列阵，凹坑的深度根据需要而定；F.去掉掩膜纸，将压电振子片夹在两片带相同凹坑列阵的陶瓷板之间，使凹坑相对，放在贴片工作台上，在它们之间涂上粘合剂，并使它们的二边紧贴贴片工作台上的三个定位销，加压使三片粘合成一体，然后切割成小单元，构成压电陶瓷振动腔，在此步骤时，不需要开启工作台的负压装置。