渐层式滤波片的制作方法

摘要

一种渐层式滤波片的制作方法，为改善已知技术在镀膜测试时需要耗费相当的时间与成本进行蒙板校正的制作过程。本发明先利用软件模拟手段进行在透明基材上镀上渐层式薄膜的模拟，掌握各单层膜材料、镀膜机内部气流与蒙板的设置在镀膜时的物理性质，才真正进行各单层膜镀膜的制作过程，以此达到节省时间与成本、镀膜的成功率能够大大提高、测试制作过程的次数减少、制作过程的效率提升等功效。主要步骤包括先决定滤波片的渐层变化，再以软件模拟手段估计对应单层膜厚度，之后依据单层膜的厚度推算蒙板的形态，最后才在镀膜机内制作具有渐层变化的滤波片。

主权项

1.一种渐层式滤波片的制作方法，其特征在于所述的方法包括：决定一个或多个滤波片的渐层变化；以模拟手段分析单层膜的穿透率与在光谱中各波段波长范围的关系，再由该滤波片的渐层变化估计出所述单层膜厚度的变化量，以推算对应所述单层膜的厚度；推算一个或多个蒙板的形态，依据所述单层膜的厚度推算所述蒙板的形态；以及以电子束蒸镀方式在设置所述蒙板的镀膜机内制作所述具有渐层变化的所述滤波片。