液滴喷出头的驱动方法、液滴喷出装置和电光装置

摘要

本发明提供一种提高喷出液滴所形成的膜图案的膜厚均一性的液滴喷出头的驱动方法、液滴喷出装置和电光装置。对于多个喷嘴的每一个，把与喷出的液滴的重量对应的“1”～“4”的等级进行对应关联。为了使喷出的液滴的实际重量变为预先规定的给定的基准重量，生成与各等级的喷嘴对应的驱动波形信号COM(第一驱动波形信号COMA、第二驱动波形信号COMB、第三驱动波形信号COMC、第四驱动波形信号COMD)。然后，对根据描画数据选择的各压电元件，供给与喷嘴的等级对应的驱动波形信号COM，从选择的喷嘴喷出基准重量的液滴。

主权项

1.一种液滴喷出头的驱动方法，其特征在于，包括：对多个喷嘴的每一个，把与喷出的液滴的重量对应的等级进行对应关联的等级设定步骤；按每个所述等级生成用于驱动所述喷嘴的致动器和把所述液滴的重量校正为预先规定的给定重量的驱动波形的驱动波形生成步骤；以及对根据描画数据选择的所述喷嘴的致动器，供给与所述选择的喷嘴的所述等级对应的所述驱动波形，从所述选择的喷嘴向对象物喷出所述给定重量的液滴的液滴喷出步骤。