对准装置

摘要

本发明提供一种把持晶片的边缘进行对中和凹口等的角度对位的对准装置，通过在旋转的部分取消缆线或管子等而构成不受旋转范围限制的可以无限旋转的机构，实现缩短生产节拍间隔时间、装置小型化的目的。使把持晶片(1)的把持机构进行开闭动作的连杆机构构成为，通过轴承(14)支撑于驱动连杆机构的连杆机构驱动部，设计为仅把持机构与连杆机构可以旋转的构造。

主权项

1.一种晶片的对准装置，包括：通过开闭动作把持晶片外周的把持机构；使把持晶片的所述把持机构旋转的旋转机构；及检测晶片的缺口及外周的检测传感器机构，其特征在于，具备：使所述把持机构在水平方向上进行开闭动作的连杆机构；及驱动所述连杆机构的连杆机构驱动部，所述连杆机构驱动部将所述连杆机构可以旋转地支撑于晶片旋转轴。